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19486) クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して
 のぎー  - 19/1/31(木) 8:45 -
  
現在クリーンルームの設計をしておりますが、弊社は、過去数件、外調機に温水、冷水蒸気を取り入れ、CR内給気は22℃で給気露点温度制御で湿度が50%前後になるように設計しています。
また、内調機にも、温水、冷水、蒸気をもっていき、室内温湿度センサによる冷却、再熱、加湿制御を行っておりました。

今回、お客さんから、内調機側の温水、蒸気を廃止して、調湿は外調機のみ、内調機は冷水のみの顕熱負荷処理として、顕熱潜熱分離方式にできないかと話がありました。

ここで気になるのが、クリーンルームにいれる外気は基本的には部屋の室圧をみて管理しているため、クリーンルーム内の排気が減ると、給気が当然絞られるので、その際に加湿したい場合、加湿した空気を供給しきれず、湿度が制御しきれないのではないかという懸念があります。
その為、工程内に強制排気を設けることで対応しようと思っておりますが考え方は合っていますでしょうか?

また、内部の熱負荷が少ない場合、内調機には冷水しかないので昇温できず、外調機側で昇温することになりますが、昇温した空気を送気する場合、天井のHEPAから直接その空気を吹き出すと、温度ムラが出来る気がします。
この場合は、内調機のRA側に接続して送気した方が、温度ムラを和らげることができるのかと思いつつも、結局HEPAから出るときは一緒なので、あまり効果がないのかとも思います。温度差がつかないように給気を多くとるしかないのでしょうか?

経験のある方、また他の対策があれば教えて頂きたいです。

引用あり
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19486) クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して のぎー 19/1/31(木) 8:45
19487) Re:クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関し... TWジジイ 19/1/31(木) 19:02
19503) Re:クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関し... のぎー 19/2/7(木) 19:00
19501) Re:クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関し... 管理人(Yoh) 19/2/7(木) 16:07

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