Ｐａｇｅ 1836 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 建築設備フォーラムへ ┃ 会議室に戻る ┃ ＩＮＤＥＸ ┃ ≪前へ │ 次へ≫ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼クリーンルームの温湿度設計とは？ 関西担当１ 08/3/12(水) 23:04 ┣Re:クリーンルームの温湿度設計とは？ いのさん 08/3/13(木) 7:48 ┗Re:クリーンルームの温湿度設計とは？ ada 08/3/13(木) 18:55 ─────────────────────────────────────── ■題名 ： クリーンルームの温湿度設計とは？ ■名前 ： 関西担当１ ■日付 ： 08/3/12(水) 23:04 -------------------------------------------------------------------------
| 工場クリーンルーム内の温湿度は多少の誤差はあったとしても２５±２度また、湿度も５０％±１０％程度だと思います。 しかし、実際生産品に影響がなければ居室程度の温湿度でも問題ないと思うのですが、例えば、冬場１８±２度、湿度５０±１０％。夏場２６±２度、湿度５０±１０％でも問題ないと思うのですが。 このような考え方は間違っているのでしょうか？また、考えられる不具合はあるのでしょうか？前提として、生産品に温湿度の影響がないと仮定します。 |
| 私の専門ではありませんが 工場のクリーンルームで何を生産しているのか、何の為のクリーンルームかによって温度や湿度は変わります。 もう少し詳しい説明がないと誰も答えられないと思います。 |
| > しかし、実際生産品に影響がなければ居室程度の温湿度でも問題ないと思うのですが、例えば、冬場１８±２度、湿度５０±１０％。夏場２６±２度、湿度５０±１０％でも問題ないと思うのですが。 「生産品に影響がないと判っている」のなら問題ないと思います。実際、そういう運用されているところもありますし･･･ > このような考え方は間違っているのでしょうか？また、考えられる不具合はあるのでしょうか？前提として、生産品に温湿度の影響がないと仮定します。 ただ、クリーンルーム内の作業者は防塵着を着ているので夏場の26℃は恐らく暑いと思います。実際に作業をやってみれば判りますが、24℃でも体を動かすとかなり汗をかきますので、26℃ではたとえ軽作業であったとしてもクレームになります。また、ウエハープロセスに限定すると、作業者が汗をかくと室内のナトリウムイオン濃度が上がってしまうので21〜23℃を基準温度にしているところもあります。そういう意味では、製品に影響がないかどうかを検討するときに二次的な要因も検討が必要になってくるので、「生産品に温湿度の影響がない」と判断できるまでの作業が結構大変かもしれません。思わぬ所に落とし穴が有ったりします。 |
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