クリーンルームにおける静電気対策

【第1章】静電気の基礎
1.1　静電気とは
1.1.1　電気の出現と帯電
1.1.2　静電気の発生機構
1.1.3　静電気発生に影響する主な要因
1.2　静電気の緩和と帯電
1.2.1　放電による緩和
1.2.2　導電による緩和
1.2.3　静電気帯電
1.2.4　静電気緩和による静電気除去グッズの性能評価

【第2章】半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
2.1　半導体・液晶製造のクリーンルームにおける静電気障害
2.1.1　浮遊微粒子汚染
2.1.2　静電破壊
2.2　医薬品製造のクリーンルームにおける静電気障害
2.3　危険物を取り扱う工程及び施設における静電気障害

【第3章】半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策の方法
3.1　接地により静電荷を散逸させる方法
3.1.1　静電気を管理するための主な物理量と測定装置及び方法
3.1.2　静電気対策と評価指標
3.1.3　防爆施設の各工程における静電気対策例
3.2　イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
3.2.1　イオナイザーの除電原理
3.2.2　イオナイザーの種類と特徴
3.2.3　イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
3.2.4　イオナイザーの除電性能の評価方法

【第4章】クリーンルームにおけるイオナイザーによる静電気対策の問題点
4.1　コロナ放電式イオナイザーの問題点
4.2　軟X線イオナイザーの問題点
4.3　医薬品製造のクリーンルームでの問題点

【第5章】コロナ放電式イオナイザーの電極からの発塵の問題
5.1　電極からの発塵濃度の測定
5.2　電極からの発塵濃度の経時変化
5.3　コロナ放電電極からの発塵メカニズムの検討
5.3.1　電極の磨耗
5.3.2　電極上への微量不純物の析出・堆積

【第6章】開発されたクリーンルーム用イオナイザー
6.1　シースエア式低発塵イオナイザー（コロナ放電式）
6.1.1　シースエア式低発塵イオナイザーの概要
6.1.2　発塵防止対策の評価結果
6.2　新耐磨耗性電極の長期耐久試験と金属汚染量の測定
6.2.1　新たに開発した耐磨耗性電極の原理と製法（概要）
6.2.2　実験装置および実験方法
6.2.3　実験結果
6.3　シースエア量を低減したシースエア式低発塵イオナイザー
6.3.1　シースエア量低減の検討
6.3.2　開発したシースエア式低発塵イオナイザーの発塵防止性能（シースエア効果）
6.4　イオン化気流放出型イオナイザー（軟X線照射式）
6.4.1　イオン化気流放出型イオナイザーの特長
6.4.2　各種イオン化気流放出型イオナイザーの概要
6.5　液晶カセット用イオン化気流放出型イオナイザーの遮蔽性能と除電性能
6.5.1　軟X線の遮蔽性能
6.5.2　除電性能の評価方法
6.5.3　除電性能の評価結果
6.5.4　従来方式によるカセット内のガラス基板に対する除電性能
6.6　チャンバー型無発塵イオナイザー（イオンカラム）の遮蔽性能と除電性能
6.6.1　チャンバー型無発塵イオナイザーの概要及び主な特徴
6.6.2　実験装置および方法
6.6.3　実験結果および考察
6.7　静電気対策用層流吹出口（イオンキューブ）の遮蔽性能と除電性能
6.7.1　実験装置及び方法
6.7.2　実験結果及び考察
6.7.3　イオナイザー実機による遮蔽性能の確認と除電性能の測定
6.8　防爆型無発塵イオナイザー（軟X線照射式）
6.8.1　防爆型無発塵イオナイザーの用途
6.8.2　防爆型無発塵イオナイザーの仕様
6.8.3　防爆型無発塵イオナイザーの外観
6.9　今後の展望
6.9.1　今後イオナイザーに求められること
6.9.2　今後必要とされるイオナイザー

【第7章】静電気対策の事例
7.1　半導体・液晶製造
（1）半導体用封止材の充填工程における静電気対策
（2）フレキシブル基板の静電気対策
（3）ガラス基板の吸着ステージにおける静電気対策
（4）ガラス基板の搬送工程における静電気対策
（5）フィルムコーター装置における静電気対策
7.2　医薬品製造 148
（1）粉体薬充填装置にける静電気対策
（2）粉体薬充填アイソレータにおける静電気対策
（3）医療用樹脂製品の静電気対策
（4）遠心分離機における静電気対策
（5）錠剤の画像検査工程における静電気対策
7.3　危険物を取り扱う工程及び施設
（1）粉体溶解槽等の固定タンクにおける静電気対策
（2）溶剤充填用クリーンベンチにおける静電気対策
（3）溶剤小分け工程における静電気対策
（4）溶剤充填時の樹脂ドラムの静電気対策
（5）溶剤の撹拌・ろ過工程における静電気対策
7.4　その他
（1）樹脂ベルトで誘導帯電した電池ケースの静電気対策
（2）導電性布によるバグフィルタの静電気対策
（3）食品包装工程における静電気対策
（4）樹脂容器の加工工程における静電気対策
（5）樹脂部品用トレー供給部における静電気対策