Ｐａｇｅ 1491 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 建築設備フォーラムへ ┃ ＩＮＤＥＸ ┃ ≪前へ │ 次へ≫ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼真空状況下における清浄度 あきら１号 08/3/30(日) 18:11 ┣Re:真空状況下における清浄度 こてつ 08/3/31(月) 16:39 ┗Re:真空状況下における清浄度 ada 08/4/2(水) 0:22 ─────────────────────────────────────── ■題名 ： 真空状況下における清浄度 ■名前 ： あきら１号 ■日付 ： 08/3/30(日) 18:11 -------------------------------------------------------------------------
| クリーンルーム内設置装置で、真空空間で処理している工程があります。 真空状況では清浄度はどのようなクラス状況になっているのでしょうか？ 少しの情報でも結構です。参考となる話でもないでしょうか？ |
| 真空度と清浄度は別の概念だと思います。 真空装置 清浄度で検索すれば多々ｈｉｔしますが、真空装置の清浄度はクラス100 1000、10,000とそれぞれです。 あくまで処理工程の要求スペックによるのではないでしょうか。 それとも真空での清浄度の定義？・・・同じでは？ 参考になる話（真空基礎講座）・・・但し清浄度については記載はありません。 ↓ http://www.anelvatx.jp/techinfo/lecture/ このメーカーに問い合わせてみるのもよいかも知れません。 |
| 真空状況の清浄度という表現がピンとこないのですが、具体的にどんな装置なのですか？ RIE/CVD/スパッタとかそう言う類の装置ですか？液晶注入とかオートクレーブみたいなものですか？ 前者であれば真空容器内に少量のプロセスガスを流しながら処理すると思いますので、その清浄度に依存すると思います。 処理時の副生成物の再付着の問題とかならワーク処理後にワーク上のパーティクルの付着状況を検査するしかないです。 隔壁への付着ならクリーニングのやり方を再検討するとか。 あまり変な生成物ができるようならガスの純度も確認した方が良いかもしれません。 後者であれば、真空処理を行った後に大気圧に戻すため不活性ガスを充填すると思うのですが、 その清浄度に依存するのではないでしょうか？ いずれにしてもプロセス上の問題になってくると思いますので、こてつさんの書かれているように プロセスメーカー・ユーティリティ供給メーカーに確認する方が早いです。 |
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