Ｐａｇｅ 1563 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 建築設備フォーラムへ ┃ 会議室に戻る ┃ ＩＮＤＥＸ ┃ ≪前へ │ 次へ≫ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼クリーンルームの装置冷却水 生産冷却水 07/3/8(木) 13:43 ┗Re:クリーンルームの装置冷却水 ada 07/3/9(金) 13:42 ┗Re:クリーンルームの装置冷却水 生産冷却水 07/3/9(金) 19:26 ┗Re:クリーンルームの装置冷却水 ada 07/3/9(金) 21:54 ─────────────────────────────────────── ■題名 ： クリーンルームの装置冷却水 ■名前 ： 生産冷却水 ■日付 ： 07/3/8(木) 13:43 -------------------------------------------------------------------------
| 初めてクリーンルームの設計担当しました 生産装置の冷却水は装置に背圧がかかるから, 密閉回路はだめといわれました. 装置に背圧がかかるという状況がどういうことなのか よくわかりません。 なぜ密閉ではだめなのですか? 確かに、開放ならドレンと同じですが、 理論的に説明できません。 どうかご教授の程お願い致します. |
| 半導体関係の生産装置の多くは温度制御を行うのに時間比例制御をしているので 電磁弁のON-OFFを繰り返す仕様になっていると思います。装置単体で見れば0-100% の二位置変化を絶えず繰り返しているので、還り管にかかる圧力がその度に変動 するということになります。単体ではそれで流量さえ確保できれば問題ないのです が、冷却水の系統には複数台繋がっているので密閉回路だと別の装置の背圧に影響 して瞬間的に流量変化しまい、装置のフローセンサが働いてエラーが出てしまうよ うです。還り管を開放にしても多少圧力変動はしますが、密閉に比べて変動幅は 少なくてすみますからそちらを採用するケースが多いのでしょう。 |
| ありがとうございます. 理解できたと思います. そしてもう1つ 冷却水タンクの容量はどのようにして求めるのが妥当でしょうか どうかよろしくお願い致します |
| >そしてもう1つ >冷却水タンクの容量はどのようにして求めるのが妥当でしょうか >どうかよろしくお願い致します これは色々な考え方があると思います。私が担当したケースでは、供給設定温度に 対して許容変動幅が決められていて、一次冷却系のトラブルで冷却できなくなった 場合、バックアップへの切替時間内は許容変動幅に収まるようにバッファ量を算定 しました。 |
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