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竹中工務店 半導体工場向けに0.01℃で温度制御できる空調システムを開発。 2006.11.16

(株)竹中工務店は、半導体などの電子デバイス製造施設や研究施設向けとして、±0.01℃以下の超精密な温度制御を実現する空調システムを開発し、このほど納入した。
 
新システムは、従来の冷却・再熱で温度制御するのではなく、「再熱」を無くし、「冷却」のみで、クリーンルーム内の温度を±0.01℃以下の精度で制御することが可能にしている(特許取得済)。
 
冷却コイルのみで電気ヒーターを使用しないため、電磁ノイズの発生もなく、加えて、同社従来方式に比べて同等のコストで、約30%の省エネ、約60%の省スペース化、約40%の工期短縮を実現しているという。

(株)竹中工務店
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