Ｐａｇｅ 3491 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 建築設備フォーラムへ ┃ 会議室に戻る ┃ ＩＮＤＥＸ ┃ ≪前へ │ 次へ≫ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して のぎー 19/1/31(木) 8:45 ┣Re:クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して TWジジイ 19/1/31(木) 19:02 ┃ ┗Re:クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して のぎー 19/2/7(木) 19:00 ┗Re:クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して 管理人(Yoh) 19/2/7(木) 16:07 ─────────────────────────────────────── ■題名 ： クリーンルームの顕熱潜熱分離方式に関して ■名前 ： のぎー ■日付 ： 19/1/31(木) 8:45 -------------------------------------------------------------------------
| 現在クリーンルームの設計をしておりますが、弊社は、過去数件、外調機に温水、冷水蒸気を取り入れ、CR内給気は22℃で給気露点温度制御で湿度が50％前後になるように設計しています。 また、内調機にも、温水、冷水、蒸気をもっていき、室内温湿度センサによる冷却、再熱、加湿制御を行っておりました。 今回、お客さんから、内調機側の温水、蒸気を廃止して、調湿は外調機のみ、内調機は冷水のみの顕熱負荷処理として、顕熱潜熱分離方式にできないかと話がありました。 ここで気になるのが、クリーンルームにいれる外気は基本的には部屋の室圧をみて管理しているため、クリーンルーム内の排気が減ると、給気が当然絞られるので、その際に加湿したい場合、加湿した空気を供給しきれず、湿度が制御しきれないのではないかという懸念があります。 その為、工程内に強制排気を設けることで対応しようと思っておりますが考え方は合っていますでしょうか？ また、内部の熱負荷が少ない場合、内調機には冷水しかないので昇温できず、外調機側で昇温することになりますが、昇温した空気を送気する場合、天井のHEPAから直接その空気を吹き出すと、温度ムラが出来る気がします。 この場合は、内調機のRA側に接続して送気した方が、温度ムラを和らげることができるのかと思いつつも、結局HEPAから出るときは一緒なので、あまり効果がないのかとも思います。温度差がつかないように給気を多くとるしかないのでしょうか？ 経験のある方、また他の対策があれば教えて頂きたいです。 |
| 設計屋ではないので細かい計算を聞かれても答えられませんが、 外調機が十分な加湿能力（露点温度を満足する。）を持っていれば良いと思います。冬場に外気湿度が低い時でも外調機の給気露点温度が保てる能力が必要。 内調機が除湿しないように内調機の冷水温度を露点温度以上にします、22℃/50%RHの露点温度が11.1℃DPなので 内調機の冷水温度を12-13℃にしてコイル選定します。12℃冷水は7℃冷水から循環量を調節して作ります。 生産時の生産装置の発熱も考慮して機器の能力選定と思いますので、生産装置実装前や、生産停止中は室内温度が低下し湿度が上昇します、お客様にどの程度まで大丈夫か確認が必要です。室温低下を気にするのであれば外調側でカバーします。 |
| 回答ありがとうございます。 頂いた回答が私が考えていたことと概ね一致しており安心しました。 内調側の除湿を避けたいのは山々なのですが、予算や風量のことを考えると、どうしても7℃の12℃で5℃差冷水での設計をせざるをえないので、外調側で加湿が負けないように蒸気加湿を設計したいと思います。 |
| ＞ のぎー さん レスがついていますので、 確認していれば、返信のレスをお願いします。 （返信が無いと、読んでくれたのかどうか分かりませんので・・・） |
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